主题:【分享】ICP点不着火...解决之道

浏览0 回复22 电梯直达
jakccheng
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最近公司的ICP老点不着火,连续晕了两天....
一点火就提示:
1.氩气压力不够或者空气泄漏
2.冷却气故障
3.RF电压不足
根据上述提示,一直在查找问题,进样系统,炬管,氩气进出品,空压机的排水....找了两天都没找到.今天中午终于有戏了:把氩气分压调至1.0MPa(正常时为0.8MPa),点火.....终于点着了....呵呵
现在仪器一直开着,都不敢关,呵呵!等样品测完后,还要确定一下是不是压力表出了问题...估计是压力表的指示出现偏差,无法正确的指示其氩气压力...
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你看看你的那个切割气的电磁阀,是不是点火时没跳上来?如果是的话,换个O ring 就是胶圈就好了
cjh01021212
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我的ICP也点不着了,提示 shear gas is not flowing!哪位帮帮忙,看是什么原因,能不能不找工程师就可以解决啊?
shaweinan
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原文由 jackcong 发表:
  我的ICP也点不着了,提示 shear gas is not flowing!哪位帮帮忙,看是什么原因,能不能不找工程师就可以解决啊?


  如果是PE的ICP也可以先按着楼主的方法找一下原因呀。
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