主题:请教 ICP的点火方式?

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yuyi
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该帖子已被tzl75设置为精华;
想知道具体的点火的过程,比如说热电的interpid II xsp 和PE的3000XL是在炬管边上有一线形的点火头,而PE4300DV的则是炬管上贴一小铜片,VARIAN的炬管边上则好象什么都没有,它们分别是怎么点着等离子炬的呢?
  是不是点火头隔着炬管也能在炬管中产生一电场,电离出电子来呢?
  困扰
  请不吝赐教!谢谢!
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tzl75
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热电的是他击式,PE,VARIAN的是自击式,(以上是我了解的)怎么按你的描述PE的成了他击式
hontim
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田兄啊,他问的是点火方式啦,也就是不知道电子是怎么电离出来的,可不是线圈的振荡方式哦

Varian的点火器装在炬室的右边(从外面看不到),里面有一个高压发生器,等离子气通过它,在点火时,电离管路里的Ar(若是面板打开着,点火时能看到管路里有很长的火花)
renzhihai
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tzl75
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我的是在点火时RF功率在2.0,点火后回到正常,只有他激的才需要外部引导点火的
tzl75
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原文由 hontim 发表:
田兄啊,他问的是点火方式啦,也就是不知道电子是怎么电离出来的,可不是线圈的振荡方式哦

Varian的点火器装在炬室的右边(从外面看不到),里面有一个高压发生器,等离子气通过它,在点火时,电离管路里的Ar(若是面板打开着,点火时能看到管路里有很长的火花)


既然说的这里我就说详细点吧

点火一般分3个不走:
1.在炬管中建立氩气气氛
2.接入高频电源(27.12或40.68M),产生高频电磁场
3.引导氩气电离,一般用高压teslx线圈放电使氩气局部电离为导体,从而产生感应电流,在高频电磁场作用下,形成ICP烟炬
hontim
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hontim
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田兄,我的Vista MPX线圈振荡方式是自激的还是他激的?
tzl75
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目前我看到的只有热电的是他激的,VARIAN的MPX PRO都是自激的
yuyi
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哦,清楚了,谢谢!
但是不是点火的方式,还分有高压点火和低压点火呢?
“一般用高压teslx线圈放电使氩气局部电离为导体,从而产生感应电流”这是高压点火吧,那低压点火是如何的呢?
另,题外话。他激式的振荡方式,由于RF功率会随基体而变,那是不是意味着当样品的种类比较多,基体复杂的时候,会导致ICP的功率不断的改变以适应不同的基体,这样对RF源来说是不是不好,容易疲劳过度,导致寿命减少呢?
tzl75
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你说的低压点火是不是热电的采用他激RF的,我没见过,听说外面可以看到一个专门的点火的装置,你可以看看本论坛上点火不着的个帖子,哪个发贴人是热点的用户.
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