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主题：【求助】请教有关icp气体连锁的问题

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hancl206
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发表于：2008/08/29 18:03:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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这两天用icp，点火的时候出现E2212这个错误，提示等离子体点火失败，气体连锁失败，这个时候气罐上的两个表会同时降为0，过一会两个表上的数字又恢复到原来的值，但是再点火的时候还是这样，有时候是在测定过程中突然出现等离子体熄灭，然后压力表也出现为0的情况，那位高手知道这是怎么回事？
推荐答案：老难人回复于2008/08/29

即使是流量计坏了，但是罐子应该还在持续供气啊，按理说等离子体不应该熄火呀

  流量计坏了,那么他就不能提供流量数据,这样流量数据都低于系统设置的安全流量,从而,系统进入自我保护,而熄火.
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2008/8/29 18:09:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
会不会是流量计坏了?
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2008/8/29 18:23:24 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zb_hongyu 发表:
会不会是流量计坏了?

即使是流量计坏了，但是罐子应该还在持续供气啊，按理说等离子体不应该熄火呀
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2008/8/29 18:27:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hancl206 发表:
原文由 zb_hongyu 发表:
会不会是流量计坏了?

即使是流量计坏了，但是罐子应该还在持续供气啊，按理说等离子体不应该熄火呀


  流量计坏了,那么他就不能提供流量数据,这样流量数据都低于系统设置的安全流量,从而,系统进入自我保护,而熄火.
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