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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】紧急求助！！SEM-EDX 点分析时点的半径是多少？

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wulihe

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发表于：2008/10/24 09:14:45 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

最近投了一篇文章，里面提到用SEM-EDX (FE-SEM, Hitachi, S-4200)做了点分析，可是审稿人让提供点分析的半径。
这个半径一般是多少啊？有没有用过Hitachi, S-4200的？
谢谢了！

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2008/10/24 11:12:19 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这个与电镜的牌子没关与分析时用得斑束大小加速电压有关如果是作用区半径可用蒙特卡罗方法计算

请具体一点把审稿人的原话发过来

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春天的桃子

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2008/10/24 23:31:18 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhuangj581 发表:
这个与电镜的牌子没关与分析时用得斑束大小加速电压有关如果是作用区半径可用蒙特卡罗方法计算

请具体一点把审稿人的原话发过来

是这样的．要看具体的情况的．

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beau

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2008/10/25 1:15:02 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

和放大倍数也有关系

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fengyonghe

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2008/10/27 4:03:02 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我送你一个计算公式，将实验参数带入公式，就可以解决你的问题了。该计算公式是有出处的。

能谱空间分辨率

公式 Zm＝0.033（V0^1.7－VK^1.7）A／ρz

Zm: 电子束激发深度(μm)
V0 : 激发电压(千伏）
VK: 吸收边临界激发电压（千伏）
A: 原子量
ρ : 密度（克/厘米³）
Z : 原子序数
电子束激发直径：Zm+d0 d0 :束斑直径

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jzhx68

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2008/10/27 8:58:50 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe 发表:
我送你一个计算公式，将实验参数带入公式，就可以解决你的问题了。该计算公式是有出处的。

能谱空间分辨率

公式 Zm＝0.033（V01.7－VK1.7）A／ρz

Zm: 电子束激发深度
V0 : 激发电压
VK: 吸收边临界激发电压
A: 原子量
ρ : 密度
Z : 原子序数
电子束激发直径：Zm+d0 d0 :束斑直径

激发电压V0 是是加速电压还是元素的特征X射线电压？

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zhuangj581

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2008/10/27 16:23:04 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

上面的公式说法有问题入射电子的最大穿透深度一般用用蒙特卡罗方法计算（见附件）
关于电子束激发直径=Zm+束斑直径的说法不知出处在哪

最大深度和分析半径是有差别的我理解审稿人可能想知道分析时用的电子探针的半径是是多少就是束斑大小

SEM

附件：

SEM

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fengyonghe

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2008/10/27 20:52:59 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1，上次给出了如下的公式：

能谱空间分辨率公式 Zm＝0.033（V0^1.7－VK^1.7）A／ρz

Zm : 电子束激发深度
V0 : 激发电压
VK : 吸收边临界激发电压
A : 原子量
ρ : 密度
Z : 原子序数
电子束激发直径：Zm+d0 d0 :束斑直径

2，v0：称为激发电压或加速电压.即工作时所选用的高压
3，激发直径要比束斑直径大的多，按上式计算激发直径。
4，资料来源于牛津仪器内部资料。搂主若引用此公式可标明出自
“Oxford instruments Analytica 2005“

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zhuangj581

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2008/10/28 15:16:31 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

作用深度和斑束大小是两个不相干的量
斑束大小代表作用在样品表面电子束的大小。
作用深度代表电子束可作用的深度不同信号产生的范围及深度不同，二次电子信号产生于样品较浅的部位，范围及深度约为几nm，X射线产生于样品较深的范围，产生X射线的范围及深度约零点几至几十微米。
不理解把二者相加的意义

这个问题已经讨论过
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070801/928074/

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fengyonghe

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2008/10/28 22:35:20 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhuangj581 发表:
作用深度和斑束大小是两个不相干的量
斑束大小代表作用在样品表面电子束的大小。
作用深度代表电子束可作用的深度不同信号产生的范围及深度不同，二次电子信号产生于样品较浅的部位，范围及深度约为几nm，X射线产生于样品较深的范围，产生X射线的范围及深度约零点几至几十微米。
不理解把二者相加的意义

这个问题已经讨论过
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070801/928074/

谢谢你的认真讨论,您说得都对。上面公式来源于我参加培训班时发的材料,只是我复制过来的,。电子束在晶体中的扩散，按照蒙特卡洛理论成梨型，其深度与最大直径是不同的，他们的差值就等于束斑直径。上海硅酸盐研究所主讲。公式没有推导演示。我也不会推导，很抱歉。

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