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透射电镜（TEM）
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主题：【求助】求TEM样品定点减薄的设备？

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liutw30
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发表于：2008/11/14 21:05:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想得到TEM样品中特定位置的薄区，有没有这样的设备？哪儿有买！大致多少钱
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drizzlemiao
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2008/11/14 21:30:08 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最合适的可能是FIB，现在做半导体器件的TEM样品很多都必须用这个。
如果定点要求不是特别高，PIPS或者Fischione的离子减薄都能在样品中心附近穿孔，并且可以监视减薄过程，及时停止。至于价钱嘛，问国内的代理们吧。
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