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主题：【求助】关于—TiNi薄膜的DSC问题

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abskk
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发表于：2008/11/22 20:05:42 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我想做TiNi形状记忆合金薄膜的DSC，以测定薄膜的相变温度，但薄膜是直接镀在单晶硅片上的，取不下来，这样能不能做DSC啊？

如果不行，该如何处理？

谢谢！
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2008/11/23 15:11:37 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
知道TiNi的相变温度？和TiNi一起做
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abskk
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2008/11/23 15:30:20 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
相变温度大约在400~600之间，关键问题是从硅片上取不下薄膜，不是跟什么东西一起做的问题。
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tgdsc
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2008/11/23 16:44:38 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该可以取下来的，机械的办法应该就可以吧，做DSC一点点就够了
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abskk
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2008/11/23 21:39:36 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tgdsc 发表:
应该可以取下来的，机械的办法应该就可以吧，做DSC一点点就够了


薄膜也就是1~2um，我觉得用机械的方法取下来是比较困难的。不知道谁做过TiNi薄膜，看他们是怎么处理这个问题的。
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KK-yiqi
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2008/12/24 8:11:09 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
先用尽可能大的样品量，找台灵敏度高的DSC，用50-100C/min试一下。另外就是制样时做厚一点，只要该相变热足够大，是可以测到的。应该说你的样品的性质不会因为厚度变化而变化的。
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延陵子
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2008/12/29 14:19:47 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直接将簿膜面朝下贴合测试探头面测试，我试验过可以满足要求。
不然将簿膜从基材上刮下，不要怕混入基材，也可以测试。
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