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紫外可见分光光度计（UV）
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主题：【分享】晶片级光度计之微电子机械器件(视频)

浏览0 回复3 电梯直达
祥子
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发表于：2009/02/15 12:33:29 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
tutm在“再谈分光光度计发展（四）-真正微型的光谱仪”中提到了晶片级的仪器
（地址：http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20090210/1730061/）

那种技术一般叫MEMS(Micro Electromechanical System)系统.

MEMS指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

下面是我在youtube看到的两个mems系统，说明，并不是说他们是用在分光中的，他们具体干啥的，我也不清楚，给大家看看。

注，下面的器件是非常微小的，mems器件一般是微米级别的。

视频1  Hand Actuated MEMs Diffraction Grating
[flash]http://files.instrument.com.cn/bbs/upfile/2009215123120.swf[/flash]

视频1  Hand Actuated MEMs Diffraction Grating



视频2 MEMS NIR Grating Actuator doing a push up

[flash]http://files.instrument.com.cn/bbs/upfile/2009215123332.swf[/flash]

视频2 MEMS NIR Grating Actuator doing a push up

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2009/2/15 22:25:07 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看不出是在干什么。
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祥子
nemoium
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2009/2/15 23:34:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
视频1中好像是用铅笔头在拨弄

这么看这个东西不小啊。

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jixf_1114
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2009/2/16 8:38:55 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
貌似在机刻光栅阿，真是见识了！
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