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透射电镜（TEM）

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主题：【求助】紧急求助,找不到电子束

浏览0 回复8 电梯直达

shishenglin

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发表于：2009/05/05 22:39:41 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

大侠们, 电子束找不到.

常规的方法, 包括各个aperture, 都弄正常了.

但还是不行.

今天一老师说是Gate Valve开启的声音不对,那里出问题了.

要是Gate Valve的问题那该怎么维修?

你们有经验吗? 非常感谢!

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2009/5/5 22:57:28 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你要说说具体现象，你们都做了哪些调整，电镜显示的参数都有什么样的反应。看不到光有很多原因。

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无敌大冰冰

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2009/5/6 8:36:06 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

首先看灯丝电流，确保有电子束。
然后看看选区哪里取消选区，我昨天就是闹了个这个笑话。。找了老半天。汗
找出前一个使用者，详细回忆动了哪里
都不行，找工程师，哈哈

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天黑请闭眼

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2009/5/6 9:01:05 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

没有电子束，怎么知道aperture等位置都弄正常了？单凭电流值么？

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tygk98

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2009/5/6 10:54:45 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

束流值是多少？

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shishenglin

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2009/5/6 11:37:55 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

各项电流都正常,场发射源也正常,

这些结论是根据这个事实: 调整各个磁透镜电流,可以看到电子束,

但不是正常模式.

我在操作过程中没有动tilt, 应该不会很大程度改变光路.

前面的也操作正常. 我看到后面回帖的一个人说取消选区就行了是什么意思??

我把所有aperture都已经抽出了.

老师现在觉得是alignment的问题,如果要重新alignment是不是一定要工程师过来? 自己调整alignment是不是非常难?

非常感谢!

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