主题:【求助】仪器点火后过会便熄火

浏览0 回复34 电梯直达
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毛毛
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感谢了,十分的需要,老师辛苦了。真的十分的精辟。不错,支持一下。
沧浪之水
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楼主:你用的那个公司的仪器?
      操作界面有无报警?
      气体正常吗?
tsgxliy1
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压力,循环水,RF功率,气体纯度,电压稳定与否,排气大小,点火丝,都可能造成点火不着
jjcasper
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我用的也是热电X2系列,也出现国这种情况,后来工程师来了,发现是漏气
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