主题:【讨论】灯丝电流及电压对图像及EDX的影响

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fly-fall
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公司有两台老旧的日立S4700电镜,一日突发现其束流为20ua,而其说明书上推荐的为10ua.当将束流调为10后,图像变黑...不知可有方法恢复?换灯丝?另SEM图像说电压越高,轮廓越清楚,是不是由于其激发出的电子更多?而且激发的深度也比较大?那将电压调高,用小电流,是不是能减少样品的污染?EDX时,同时应用高电压,大束流是不是能显著缩短时间并且提高COUNTS呢?其对样品表面会有何作用?
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firesoul119
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我也不懂,希望有高手释疑!
我想 :电压高,电子的能量就高;电流大,电子的数量就多。
为了激发所有的元素,电压在20K 大家说较合适;
电流大是可以增加COURTS,为了提高信噪比,COURTS调节在2000以上;
COURTS还和材料的原子序数有关,我就想到这么多了,为楼主添了一块砖,希望能砸到大家的氧化铝!
    另外 电流和电压对探测深度的影响是如何的?
fly-fall
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原文由 firesoul119 发表:
我也不懂,希望有高手释疑!
我想 :电压高,电子的能量就高;电流大,电子的数量就多。
为了激发所有的元素,电压在20K 大家说较合适;
电流大是可以增加COURTS,为了提高信噪比,COURTS调节在2000以上;
COURTS还和材料的原子序数有关,我就想到这么多了,为楼主添了一块砖,希望能砸到大家的氧化铝!
    另外 电流和电压对探测深度的影响是如何的?


电压越大探测深度越大,因为电子入射的距离越深,激发出X射线的地方也越深。对于大电流,好像操作手册上一般是不要求的,我们的电镜是由于老化比较严重,才从10ua变成20ua的,否则平时观察图像就会模糊不清
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