原文由 jiekexun1018 发表:
小弟初学SEM,机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能,只能在低倍下可以用,高倍的时候图像很模糊(如5K)
还试了对照直方图调,也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整,还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下,发现清晰很多,在7k下基本可以看清,但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法,现在机器就我自己用,调不好,自己受苦。
另外,我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同,我的设置分别是7和87,LOAD CONDITION是2和82,后来我干脆改成3和78,感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗?请大侠不惜指教,万分感谢。
原文由 jiekexun1018 发表:
小弟初学SEM,机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能,只能在低倍下可以用,高倍的时候图像很模糊(如5K)
还试了对照直方图调,也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整,还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下,发现清晰很多,在7k下基本可以看清,但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法,现在机器就我自己用,调不好,自己受苦。
另外,我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同,我的设置分别是7和87,LOAD CONDITION是2和82,后来我干脆改成3和78,感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗?请大侠不惜指教,万分感谢。
原文由 srd2009 发表:原文由 jiekexun1018 发表:
小弟初学SEM,机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能,只能在低倍下可以用,高倍的时候图像很模糊(如5K)
还试了对照直方图调,也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整,还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下,发现清晰很多,在7k下基本可以看清,但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法,现在机器就我自己用,调不好,自己受苦。
另外,我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同,我的设置分别是7和87,LOAD CONDITION是2和82,后来我干脆改成3和78,感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗?请大侠不惜指教,万分感谢。
像散是磁透镜磁场的中心轴不对称造成的,从一个园光斑发出的电子经过该磁透镜后聚焦不是一个园光斑,而是十字方向拉长的椭圆斑。造成最终束斑尺寸加大,影想图像清晰度。
一般只物镜带有有消像散器,用于消除物镜附近污染所致的静电场干扰,
但像散还存在于聚光镜,还有整个镜筒污染造成的静电场对电子束的干扰,影响光源的对中,这种不能用电器消除的干扰,最后只能采用清晰镜筒的办法来消除。其次除了物镜以外的干扰和加速电压也有关系,加速电压越低干扰越明显,图像质量越差。
楼主改变的参数电子枪偏压电阻、电对中,在一定程度上消除了电子枪和镜筒污染造成的干扰