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主题：【求助】昨天又做完了一次电镜烘烤，但还是不行（已解决）

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tygk98
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发表于：2009/08/13 16:26:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
昨天又做完了一次电镜烘烤，但还是不行。插入样品杆预抽时，P4可达到28；但完全插入样品杆后，感觉气阀的声音有些异常，然后P4就慢慢变成了255.

    各部分真空现在是：
P1：29
P2：25
P3：43
P4：255
P5：110

ＳＩＰ的电源指示灯是亮的。

1、4、5B、13、17这五个阀门是实心的，其它阀门都是空心的。
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2009/8/13 20:31:52 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的问题跟电镜烘烤无关吧？
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天黑请闭眼
shxie
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2009/8/13 21:53:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还是漏气的问题，打电话问问工程师吧，预抽能到正常值，放进去反而漏气，就是样品杆和测角台的问题吧。
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2009/8/13 23:14:54 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jackyzhao 发表:
你的问题跟电镜烘烤无关吧？


前两个星期也出现过同样的问题，烘烤电镜后就正常了。这次不知为什么却不行了。
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2009/8/13 23:15:38 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shxie 发表:
还是漏气的问题，打电话问问工程师吧，预抽能到正常值，放进去反而漏气，就是样品杆和测角台的问题吧。


正在与工程师取得联系。
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liveorevil
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2009/8/13 23:15:52 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tygk98 发表:
昨天又做了一次电镜烘烤，但还是不行。插入样品杆预抽时，P4可达到28；但完全插入样品杆后，P4就慢慢变成了255.

    各部分真空现在是：
P1：29
P2：25
P3：43
P4：255
P5：110

ＳＩＰ的电源指示灯是亮的。

1、4、5B、13、17这五个阀门是实心的，其它阀门都是空心的。


肯定是漏气 和烘烤无关 看看样品杆上的密封圈有没有问题 找下工程师吧
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tygk98
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2009/8/13 23:30:39 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
O圈也没动过，不可能突然就漏气了。我觉得还是气阀有问题。
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liveorevil
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2009/8/13 23:39:30 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tygk98 发表:
O圈也没动过，不可能突然就漏气了。我觉得还是气阀有问题。


在样品杆没往里插之前样品室和镜筒是分离的，真空没问题，插进去后阀打开由o圈负责密封，真空不行了，那很可能是样品台拿一块的问题吧。o圈老化，划伤或者有纤维黏附都可以导致漏气。

另建议把那些p1p2什么的泵 说一下是在哪个部分~不一样的电镜会不一样吧~
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无敌大冰冰
sourbing
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2009/8/14 8:49:58 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空阀会不会漏气？
把电镜右后的那个板拆下来，听听那几个阀控制，就是连了一堆黑线那个地方，有没有漏气的声音，我这个电镜就是v6阀老化漏气，我直接把线一夹，解决！
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tygk98
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2009/8/14 9:00:25 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一个月前，看了那种带磁性的样品后，电镜就出现这种问题，经烘烤电镜后，一开始也是P4不行，SIP指示灯反复熄灭和点亮，3个小时候，突然听到气阀响了一声，P4的值就迅速减了下去，一切回复正常。但当时没想到是样品的问题。
      两个星期前，也看过其它样品，但看完后电镜都正常。最后又看了一次那种带磁性的样品，然后再换其它样品时，就发现电镜不正常了。这次烘烤完电镜后，SIP指示灯始终是亮的。
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tygk98
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2009/8/14 9:12:07 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sourbing 发表:
真空阀会不会漏气？
把电镜右后的那个板拆下来，听听那几个阀控制，就是连了一堆黑线那个地方，有没有漏气的声音，我这个电镜就是v6阀老化漏气，我直接把线一夹，解决！


把电镜右后的那个板拆下来，听听那几个阀控制，也没听到漏气的声音。
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