陈大鹏 在同步辐射X射线光刻及微细加工领域作过多年应用技术研究,作为主要骨干参加过如重大国家科技 “九五” 国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”等科研项目的研究。多年来在国内外学术刊物上以第一作者发表论文10多篇,合作发表论文10多篇,获国家发明专利2项,2003年度获北京市科学技术进步一等奖一项。, 男,1968年10月出生,中国科学院微电子研究所研究员,博士生导师。在同步辐射X射线光刻及微细加工领域作过多年应用技术研究,作为主要骨干参加过如重大国家科技 “九五” 国家重点科技攻关项目97-762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”子专题97-762-03 “先进的深亚微米工艺技术”等科研项目的研究。多年来在国内外学术刊物上以第一作者发表论文10多篇,合作发表论文10多篇,获国家发明专利2项,2003年度获北京市科学技术进步一等奖一项。