主题:【讨论】测定多晶硅及氯硅烷中碳、氧的讨论

浏览0 回复8 电梯直达
三氯氢硅
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我们使用的仪器有布鲁克T27 和美国热电,如有同行,望能交流交流。
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trifle
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我已经加你了,测量两者中的碳氧含量用的仪器不同吧。
我印象中多晶硅中的用红外光谱,氯硅烷中有用色谱的

hi.baidu.com/sitest

这个博客有一些多晶硅分析的内容,欢迎来
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2011/10/14 13:02:36 Last edit by trifle
zhaocairong2
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zhaocairong2
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原文由 zhaocairong2(zhaocairong2) 发表:
多晶硅中的碳是以什么形式存在的


它是以替位碳的形式存在的
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