【求助】关于能谱仪及EDS数据的

medodo

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2009/11/5 17:54:14 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这个半定量挺难办~~，过几天再看看

：
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没看到巨人的身影，站在他们留下的脚印旁也能令人心驰神往啊

谢谢以上几位回复

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guanjun19860820

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2009/11/6 11:40:44 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

重现性不好可以理解，你的镀层就0.2个微米，能谱的深度一般得微米级别的，误差可想而知，再说，你两次测试的是一个点吗？镀层厚度能分布均匀吗？

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guanjun19860820

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2009/11/6 11:41:33 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

再说了，能谱本身就是半定量的东西，4%、5%、6%完全正常！

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fengyonghe

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2009/11/6 18:15:01 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

对这个试样来说，加速电压7kv下，获得能谱的激发深度≤0.2μm

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德国工兵

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2009/11/7 11:24:35 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

楼主的分析方法没有问题，8KV加速电压时合理的，这种情况下应该用较小的加速电压来分析，以避免高加速电压下Fe元素的干扰。
建议两点：
1.大束斑高计数快速采集。
2.连续采集同视场内多个点或区域

然后对多次采集的谱图同时定量，取平均值减小误差.
下图：同时在同一个试场内取了三个点,采集完成后选中三个谱图同时定量，定量结果非常接近，再取平均值的话就比较理想了