主题:【求助】什么是GC Ion Gauge Pressure, 与 Ion Gauge Pressure的区别?

浏览0 回复1 电梯直达
tsqgc
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如题。
近来问题多多。用TSQ Quantum GC
在查找问题的原因时发现这个参数(GC Ion Gauge Pressure)出现了变化。但是又不知道为何会变。

看过之前的纪录,在这次变化之前,包括以前还可以做调谐时 这个参数一直是2.858E-11.但是自从昨天重新装了柱子后,今天看到这参数竟然变成了6.200E-6,印象中似乎从来没见过这数据。Ion Gauge Pressure  是 2.10 E-6.

请问,什么是GC Ion Gauge Pressure?这两个参数之间有什么区别呢?正常的GC Ion Gauge Pressure应该是多少呢?
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yftnb
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TSQ上有两个ION GAUGE, 一个在离子源处(GC ion gauge),一个在真空腔后面(ion gauge),常规只要观察ion gauge pressure就行,GC ion gauge正常应该是处于关闭状态,至于如何关请问THERMO工程师吧
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