主题:【讨论】扫描电镜聚焦和工作距离的关系

浏览0 回复21 电梯直达
maxin2009
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Z=WD+H

Z:样品台与物镜极靴间的距离,WD:电子束工作距离,H:样品到物镜极靴间的距离(样品的厚度),其中,Z和H都是靠机械控制的,在聚焦过程中不会发生变化,当聚焦清楚时,上述公式一定会被满足,所以工作距离会变化,直到聚焦结束时
txm2008
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原文由 maxin2009(maxin2009) 发表:
Z=WD+H

Z:样品台与物镜极靴间的距离,WD:电子束工作距离,H:样品到物镜极靴间的距离(样品的厚度),其中,Z和H都是靠机械控制的,在聚焦过程中不会发生变化,当聚焦清楚时,上述公式一定会被满足,所以工作距离会变化,直到聚焦结束时


工作距离是样本表层到末级聚光镜的极靴的距离,而Z 轴是样品台到末级聚光镜的极靴的距离,Z=WD+H,不是永远成立的吗?,而是聚焦清楚时等式才成立的??
xjliyz
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说的没错,电镜中工作距离不是靠样品台控制,而是靠电子探针控制。
工作距离的准确性是在仪器制造过程中,用标准量规校准过的。然后随着聚焦电流的改变按照一定函数来计算工作距离!
maxin2009
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Z=WD+H

Z:样品台与物镜极靴间的距离,WD:电子束工作距离,H:样品到物镜极靴间的距离(样品的厚度),其中,Z和H都是靠机械控制的,在聚焦过程中不会发生变化,当聚焦清楚时,上述公式一定会被满足,所以工作距离会变化,直到聚焦结束时


工作距离是样本表层到末级聚光镜的极靴的距离,而Z 轴是样品台到末级聚光镜的极靴的距离,Z=WD+H,不是永远成立的吗?,而是聚焦清楚时等式才成立的??


“公式成立”和“公式被满足”在我看来是两个概念,前者客观存在,但是要够实现的话是必须靠聚焦的

这样解释可以吗,我刚接触电镜不久,希望和各位共勉之。
rainyweek
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Z=WD+H
Z:样品台到电镜极靴的距离
WD:电子束聚焦点到电镜极靴的距离
H:样品台到聚焦点的距离(如果聚焦点在样品最高点的话,该值就是样品的高度或厚度)
因为样品是有一定厚度(高度)的,当样品某个位置可聚焦清晰成像时,则WD即为样品聚焦清晰的位置离电镜极靴的距离。如果我们聚焦点是在样品最高处的表面。那么WD就是样品表面到电镜极靴的距离,H就是样品的高度。
因此在设定Z值时,要考虑样品的高度H,使得我们获得的实际工作距离WD是我们所希望的数值,
即WD=Z-H.
驰奔
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Z=WD+H
Z:样品台到电镜极靴的距离
WD:电子束聚焦点到电镜极靴的距离
H:样品台到聚焦点的距离(如果聚焦点在样品最高点的话,该值就是样品的高度或厚度)
因为样品是有一定厚度(高度)的,当样品某个位置可聚焦清晰成像时,则WD即为样品聚焦清晰的位置离电镜极靴的距离。如果我们聚焦点是在样品最高处的表面。那么WD就是样品表面到电镜极靴的距离,H就是样品的高度。
因此在设定Z值时,要考虑样品的高度H,使得我们获得的实际工作距离WD是我们所希望的数值,
即WD=Z-H.


用的什么型号电镜? 怎么这么绕来绕去的,我都有点糊涂了!是日本的电镜吧?

下图中A B C 三个点表面,工作距离大概都是多少,谁会算?

huangtao0307
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Z=WD+H
Z:样品台到电镜极靴的距离
WD:电子束聚焦点到电镜极靴的距离
H:样品台到聚焦点的距离(如果聚焦点在样品最高点的话,该值就是样品的高度或厚度)
因为样品是有一定厚度(高度)的,当样品某个位置可聚焦清晰成像时,则WD即为样品聚焦清晰的位置离电镜极靴的距离。如果我们聚焦点是在样品最高处的表面。那么WD就是样品表面到电镜极靴的距离,H就是样品的高度。
因此在设定Z值时,要考虑样品的高度H,使得我们获得的实际工作距离WD是我们所希望的数值,
即WD=Z-H.


用的什么型号电镜? 怎么这么绕来绕去的,我都有点糊涂了!是日本的电镜吧?

下图中A B C 三个点表面,工作距离大概都是多少,谁会算?



假如聚焦在10mm(WD=10)那么Z=WD+H﹐Z=25mm..
WD為聚焦焦距﹑Z為Z軸讀值﹑H為樣品高度
Ins_e3a735a8
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请问SU8100电镜在低倍下调节WD值,对镜头有影响吗?会碰坏镜头吗?开始的时候,显示屏上WD为19.7
XYZ987
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琳琳
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