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红外光谱（IR）
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主题：【求助】请大家帮忙给解释一下，谢谢了

浏览0 回复6 电梯直达
xhzhi1985
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发表于：2010/01/07 23:25:13 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我做的是红外光谱的透过性测试，分别对衬底（单晶硅）和样品（沉积了薄膜的衬底，1个微米厚）做光谱透过测试，结果发现有些波段样品的透过率竟然超过了衬底，不太明白，希望大家给指导一下。
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2010/1/8 12:49:39 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问你在测单晶硅片的透过时，背景是怎样采集的？
      在测沉积有薄膜的硅片的透过时，背景又是如何采集的？

另外，你主要是想看1微米厚薄膜本身的透过呢，还是想看沉积了薄膜之后硅片的透过率？
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happyalife
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2010/1/8 15:53:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得楼主的问题也说的不是很清楚，详细说明一下看看
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2010/1/8 22:21:46 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 lh2000d(lh2000d) 发表:
请问你在测单晶硅片的透过时，背景是怎样采集的？
      在测沉积有薄膜的硅片的透过时，背景又是如何采集的？

另外，你主要是想看1微米厚薄膜本身的透过呢，还是想看沉积了薄膜之后硅片的透过率？

没有采集背景，直接放到傅里叶红外仪里面去测的，本来是打算用衬底做背景，后来觉的不太直观，我就是要看沉积了薄膜后对衬底红外波段透过性的影响，不知这次说清楚没，我不太懂这方面
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ppddppdd
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2010/1/8 22:43:58 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
从测量数据来看，测量过程应该没什么问题。因为SI的透射数据一般在53%附近。

镀膜后，可能会增透，因此超过本底并没有什么问题。（有一种80%透射比样品就是利用SI镀膜制成）
该帖子作者被版主 zengzhengce163加 1积分， 2经验，加分理由：应助
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ghcily
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2010/1/9 8:35:21 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 ppddppdd(PPDDPPDD) 发表:
从测量数据来看，测量过程应该没什么问题。因为SI的透射数据一般在53%附近。

镀膜后，可能会增透，因此超过本底并没有什么问题。（有一种80%透射比样品就是利用SI镀膜制成）

没错，关于Si我以前专门请教过镀膜的一个朋友。
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zengzhengce163
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2010/1/9 8:42:20 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这方面不懂，学习一下
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