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主题：【资料】半导体硅材料中杂质元素的分析方法

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nps
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发表于：2010/01/18 20:35:07 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
上传了硅材料中杂质元素的分析方法国家标准——《GB4298-84 半导体硅材料中杂质元素的中子活化分析方法》，这是目前唯一能查到的与多晶硅体金属杂质分析相关的国标。

GB 4298-84半导体硅材料中杂质元素的中子活化分析方法
该帖子作者被版主 金水楼台先得月加 4积分， 2经验，加分理由：感谢
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lilongfei14
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2010/1/18 21:51:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
确实半导体硅材料的资料不多，很难找
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mayllen
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2010/1/19 8:04:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢楼主分享资料。
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ykll20062006
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2010/1/19 18:53:20 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
下了，谢谢！！
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huangwei698
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2010/1/27 8:50:09 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
THANKS
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41926912
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2010/1/31 11:46:23 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很好的资料
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yanilla
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2010/2/3 16:34:32 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢楼主，下载看看
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光哥
xsh1234567
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2010/4/13 21:28:03 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
晕倒，。，。。。。NAA，做个样好像要N多天吧？
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nps
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2010/4/14 19:41:50 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小光(xsh1234567) 发表:
晕倒，。，。。。。NAA，做个样好像要N多天吧？

嘿嘿，听说是两个月左右...主要是要找反应堆辐照...
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Tim
MWSpecialist
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2010/4/15 20:32:47 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果用激光烧蚀加上HR-ICP-MS也可以的，有GD-MS就更简单啦
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光哥
xsh1234567
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2010/4/20 13:44:59 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Field_Tian(MWSpecialist) 发表:
如果用激光烧蚀加上HR-ICP-MS也可以的，有GD-MS就更简单啦


据说：LA是20多万美元，HRICPMS大约40万欧。。GDMS大约65万欧。
汗。。。做硅的，据说LA的基体和记忆效应还不小。直接上GD算了。
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2010/6/10 12:10:24 Last edit by xsh1234567
手机版： 【资料】半导体硅材料中杂质元素的分析方法
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