主题:【讨论】Nicolet 6700 ECO RS设备异常,请高手帮忙分析原因!

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barton2004
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我们公司用的是THERMO公司的NICOLET 6700 ECO RS设备,最近出了异常。

症状如下:


A、在正常开机后,打开ECO软件,出现提示信息:

“The optical bench parameter are not appropriate for the current configuration and were not leaded.”

B、点Self test.出现提示信息:

“The mirror is in an unknown position. To avoid damage to wafters Power off ECO before continuing."



我们作了如下的处理诊断:

1、拆机确认线路接触问题。

拆机确认,无异常(无线路断或松的问题,也无部件烧坏等现象。)。

开机检查,症状未改善,A、B状况仍存在。其他都自检OK。

2、重新安装程序后,打开ECO,症状不变。

不知道原因何在?是否是电路出了问题?
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freewsb2003
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我认为最好还是打电话咨询THERMO公司的NICOLET的工程师
happyalife
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说的是,还是问原厂家的人,他们比任何人都要了解自己的东西
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