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主题：【求助】断面样离子减薄，铜片被剪掉，样品没动静

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liqun1983
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发表于：2010/06/18 11:01:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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在蓝宝石衬底上生长的薄膜，要做断面TEM，机械减薄的时候，样品是固定铜环里面的，机械减薄之后又在样品上粘了铜环，这时候在样品周围是有两层铜环的，离子减薄的时候，两层铜片都被剪掉了，样品还是没看出什么变化。难道机械研磨的还是不够薄吗？可是比样品厚的铜环已经被剪掉了啊，连续两个样品都是这种情况，不知道该怎么办了，请大贤指点一二，谢谢！
推荐答案：蓝莓口香糖回复于2010/06/19
磨到铜环消失不等于厚度就很小。蓝宝石很硬，如果研磨时推进速度太快，样品就会变成边缘薄中间厚的馒头形状。如果减薄仪一直工作正常，比较可能的原因就是样品磨得不够好。可以考虑减慢推进速度，用金刚石砂纸，最后在样品中部用凹坑仪挖一个小坑，这样应该就差不多了。
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2010/6/18 17:33:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你机械研磨的最终厚度是多少？用的什么减薄仪？
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penguinle
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2010/6/19 4:47:40 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
同上，另外你的ion mill 的focus有没有校对？
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2010/6/19 8:50:01 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
你机械研磨的最终厚度是多少？用的什么减薄仪？

磨到最后，样品外面的铜环已经开始消失了，具体多少厚度没量过，不知道该怎么把握这个厚度，减薄仪也有讲究吗，用的是离子减薄仪
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liqun1983
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2010/6/19 8:54:05 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 penguinle(penguinle) 发表:
同上，另外你的ion mill 的focus有没有校对？

磨到最后，样品外面的铜环已经开始消失了，具体多少厚度没量过，不知道该怎么把握这个厚度，减薄仪也有讲究吗，用的是离子减薄仪，可能是氩离子吧，减薄仪是别人的，据说以前用起来都没有问题，我不知道离子束的的直径有多大，校对以后是不是就不会打到铜片上了？我们的铜片内径1mm。谢谢
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2010/6/19 10:05:48 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该校正一下了
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hand
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2010/6/19 17:42:59 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
就是离子束对中的问题，所以打到样品边部了正常，校正对中减小束斑
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liqun1983
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2010/6/19 21:26:13 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hand(hand) 发表:
就是离子束对中的问题，所以打到样品边部了正常，校正对中减小束斑

谢谢，校正之后是不是就不会打到样品周围的铜环了？
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蓝莓口香糖
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2010/6/19 21:59:33 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
磨到铜环消失不等于厚度就很小。蓝宝石很硬，如果研磨时推进速度太快，样品就会变成边缘薄中间厚的馒头形状。如果减薄仪一直工作正常，比较可能的原因就是样品磨得不够好。可以考虑减慢推进速度，用金刚石砂纸，最后在样品中部用凹坑仪挖一个小坑，这样应该就差不多了。
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zhangkunlun
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2010/6/20 11:47:21 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子减薄中的离子束对中出现问题致得到这样的结果，调校一下即可。蓝宝石样品很坚硬，研磨的时候用抛光机（抛光布换成水砂纸）去进行研磨会快点，。
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