主题:【讨论】光谱仪显示真空度不够,不工作,原因分析

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mlb2003
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真空泵型号BOC EDWARDS RV5 24小时长开的,没有电脑控制关闭开启的。
故障原因还没有找到么?
wccd
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1、真空泵坏了
2、与光室连接的管路有堵塞或漏气
3、真空度测试装置出问题了
4、软件出问题了
你第一个和第四个问题已经排除,重点检查第二和第三个问题了,第三个问题真空检测规一般不容易坏,所以按常规第二个问题是检查重点,检查各阀门和管路连接头,是否有不良之处。
ace003
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zhanghaifeng
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原文由 wccd(wccd) 发表:
1、真空泵坏了
2、与光室连接的管路有堵塞或漏气
3、真空度测试装置出问题了
4、软件出问题了
你第一个和第四个问题已经排除,重点检查第二和第三个问题了,第三个问题真空检测规一般不容易坏,所以按常规第二个问题是检查重点,检查各阀门和管路连接头,是否有不良之处。


第2个问题漏气的可能性很小,只可能是堵了。感觉第3个问题的可能性比较大。
草原之恋
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难道是传感器有问题,我觉得最好不要轻易断定此问题,应先把其他问题都排除了再说。
zhanghaifeng
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原文由 草原来客(shiyu3976248) 发表:
难道是传感器有问题,我觉得最好不要轻易断定此问题,应先把其他问题都排除了再说。


Edwards RV是机械旋片真空泵,Quantron Q6 Columbus除了有机械真空泵外还有一个分子泵,不知道QC型号的有没有分子泵。会不会是分子泵出问题了。
zhanghaifeng
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原文由 zhanghaifeng(zhanghaifeng) 发表:
补充一下,我们用的是Quantron QC1078 出厂编号E0003 05年安装使用。


光谱仪 QUANTRON COLUMBUS
hunyuantaiji
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补充一下,我们用的是Quantron QC1078 出厂编号E0003 05年安装使用。


光谱仪 QUANTRON COLUMBUS

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