主题:【求助】求助电镜调节的问题

浏览0 回复11 电梯直达
无敌大冰冰
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jem2010,问题非常的菜,其实是我水平菜。。

现在情况是这样的,我调节聚光镜光阑的时候,不小心碰到了样品杆,结果真空掉了。。这个没什么,重新抽就好了,但是重新开机发现了一个问题。

高倍下能调出光,但是低倍却看不到光了。我解决的步骤。。当然目前问题依旧

1.本来以为是样品杆那里的问题,于是现在撤出了样品,拔出了一部分样品杆,发现问题依旧。。

2.把聚光镜光阑拨到最大的那个孔,也就是说不让它影响光路,但是发现问题依旧,当然这个聚光镜光阑和主要问题没关系,毕竟高倍能看到,说明光已经下来了。。

3.我想要不就高倍先合轴一下,但是合轴的时候spot1的时候调灯丝,3的时候调shiftX,Y,发现无法合在一起,而且越合越偏。最后竟然能明显看到光被遮住了,我想应该是灯丝平移后找到了镜筒的边缘。。因为这个时候聚光镜光阑已经最大了,所以应该是边缘,那么我就平移gun,目测让它左右都碰到镜筒的边缘,然后取中,就算是对中了,但切换spot,还是不能同时在中心。。这是个穿插的问题。。郁闷。

4.回过头来说低倍,因为高倍低倍都需要对中,我参考了一下说明书中的低倍对中,第一步就是需要有光。。但我现在就是没光。。于是我就不知道调节那里把光找出来。。gun的平移肯定不能动了,因为已经在中间,况且动了也找不到光,shiftX,Y的平移都各自调到了头,也是没有光。。

还是基础比较差,不知道低倍的时候到底那里影响光的走向,目前光束在中间,我考虑可能被那个偏转线圈给挪跑了,但是就是不知道还能调节那里?高手们,献身说法啊!!!
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无敌大冰冰
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低倍的问题,结题!~
刚才突然想到gun不仅是平移,还有tilt...弱智了。调节了一下,果然找到光。。。而且高倍下的那个边缘应该是某个光阑??反正不是镜筒的壁

还有个问题,低倍下看到的边缘应该是镜筒的边缘么?
因为高倍看不到脏东西,但是低倍下,周围都是小鼓泡,这个问题一直存在,肯定是脏了,但是那里脏了不能确定,一直没管它。。
今天把聚光镜光阑撤出,能撤出的都撤出了,还有有脏,这能说就是镜筒壁上的脏么?
应该花点时间研究光路了,基础太差!!!
天黑请闭眼
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你能看到镜筒壁?不太可能吧?SEM倒是有机会能看到样品室内部,不过是不导电样品才有的现象。
无敌大冰冰
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谢老师,我只是怀疑,因为脏东西一直存在,而我把光阑都拔出了还有,那么低倍下的边缘不是镜筒壁又是什么呢?
无敌大冰冰
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3.我想要不就高倍先合轴一下,但是合轴的时候spot1的时候调灯丝,3的时候调shiftX,Y,发现无法合在一起,而且越合越偏。最后竟然能明显看到光被遮住了,我想应该是灯丝平移后找到了镜筒的边缘。。因为这个时候聚光镜光阑已经最大了,所以应该是边缘,那么我就平移gun,目测让它左右都碰到镜筒的边缘,然后取中,就算是对中了,但切换spot,还是不能同时在中心。。这是个穿插的问题。。郁闷。

这段修正一下,碰到的不是镜筒壁上部,但是不明白是什么东西,因为高倍下,取的应该是中间的一点点光,那么调节gun平移的时候看到的边缘既然不是聚光镜光阑(另有,这个排除),那么是那里呢?后面都是电磁设备,并没有光阑,难道是镜筒下部分的镜筒壁?

另,结合镜筒里的脏东西来说,镜筒下部分需要特殊装置,所以我没有拆卸成功,但是上部分已经拆过几遍,在聚光镜光阑的上方是很细的镜筒,所以怀疑脏东西在那个部分,下面直到样品池都是很大空间的镜筒壁,再下面就没法观察了。。


上面那个合轴偏移的问题还是需要专家们指导啊,怎么会越调越偏,难道是后面的偏转线圈啥的影响?怪我手欠,前几天想重新折腾一下电镜,这问题就出现了。。
蓝莓口香糖
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那些所谓的脏东西未必真的是脏东西。低倍把光阑撤出来总是能看到的,我觉得可能是机械加工留下的痕迹。那些位置在正常状态下不在光路里,没必要高精度加工。
对于合轴,先看看所有透镜和线圈的电流是否正常,然后看看Gun tilt和HT centre。这两个调好后,再按正常合轴走两遍,或许能有用。不知道你怎么折腾电镜的,又拆了?如果动了机械合轴,那就不好说了。
无敌大冰冰
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脏东西是肯定的,因为光打上会有鼓泡的现象,就像水泡一样鼓啊鼓啊的,有时候占了半个屏幕。。哈哈,这个我想下周用东西吹吹,就是找个软塑料管从样品杆那里伸进去,往上面的极靴插。。因为判断脏东西在上部分。。然后用吹气球对着软塑料管吹,不知道能不能缓解,然后烘烤。。

至于合轴的调节,除了5.84那个,其他的还真没有注意过,下周去看看,另:弱智的问一下,ht centre是那个?
蓝莓口香糖
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xyie
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原文由 无敌大冰冰(sourbing) 发表:
谢老师,我只是怀疑,因为脏东西一直存在,而我把光阑都拔出了还有,那么低倍下的边缘不是镜筒壁又是什么呢?


曾经在low mag看到过有遮挡,mag下看不到的情况,当时是极靴碳盖有问题,怀疑是碳盖的边缘(猜测)。
无敌大冰冰
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极靴的碳盖?第一次听说,受教了。
这个碳盖具体位置在极靴的哪里?如果好擦或者好弄,我可以把样品杆哪里拆下来搞一搞。。。
天黑请闭眼
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极靴上的碳盖还是不要动吧,恐怕你动了这个电镜就彻底废掉了。
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