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透射电镜（TEM）
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主题：【讨论】场发射的真空就这么牛？

浏览0 回复22 电梯直达
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shxie
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2010/9/23 20:19:52 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
量試片厚度不是這樣量的...

看到快昏倒...

量試片厚度可以用計算thickness fringes

或是 CBED , EELS等方式去計算~

絕對不是你朋友說的那樣~


您觉得怎么不对了呢？朋友的老师还给出了具体的示意图呢，想来他老师也是电镜行里混迹多年，这点问题应该不会弄错。当然，精度可能的确不高，但他需要的数据也不需要这么精确。
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shxie
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2010/9/23 20:21:29 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
此外~EDS mode是analysis mode

電子束本來就非常弱...



嗯，同意楼上几位的说法，EDS mode的电子束流在局部可以很强的。
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shxie
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2010/9/23 20:22:30 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
不同的测量方法有不同的精度和适用范围，使用时也需要知道一些必要的参数。很多时候只需要对厚度做粗略估算，不需要得到很精确的数值，或者其它方法需要的出参数无法得到。关于用污染斑的方法，可以参考David Williams的书第一版629页，或者第二版670页。拿掉所有光阑直接轰击是做Beam Shower方法，这样得不到污染斑，反而可能越轰越干净。EDS模式是聚焦束，会损失一部分束流，但是光斑很小，所以束流密度反而比普通模式大。


好的，多谢老大，我去看看书，看看自己是不是哪里做的有问题。
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sendtony6
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2010/9/23 21:15:02 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
beam shower是否越打越乾淨...可能要看試片而定~

小弟孤陋寡文了...不過書上似乎是在STEM mode下做的~

在EDS下~能有相同效果嗎?
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2010/9/23 21:25:39 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
小弟~孤陋寡文了~

不過書上使用此法~似乎是在STEM模式下~

好像不是在EDS模式下~

(不過此法~書上亦嫌粗糙了些...)



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2010/9/24 4:51:42 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
小弟~孤陋寡文了~

不過書上使用此法~似乎是在STEM模式下~

好像不是在EDS模式下~

(不過此法~書上亦嫌粗糙了些...)



STEM是什么模式，EDS又是什么模式？
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2010/9/24 7:59:17 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
小弟~孤陋寡文了~

不過書上使用此法~似乎是在STEM模式下~

好像不是在EDS模式下~

(不過此法~書上亦嫌粗糙了些...)



书上介绍的第一句说了，这是在老式的(S)TEM上常用的方式之一，介绍的最后也说到额外的污染会模糊化你刻意造出的污染斑。方法的用意应该就不是很精确的评价，不过就是简单判断一下。
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2010/9/24 8:01:13 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
书上并没有讲造污染斑的模式，用EDS大概是因为局域电流密度够大，或者EDS的束斑较小吧。
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sendtony6
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2010/9/24 22:07:16 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是沒錯~

不過照片是STEM的照片~~

這...就參考一下吧~

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2010/9/25 21:01:05 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
是沒錯~

不過照片是STEM的照片~~

這...就參考一下吧~



STEM 和 EDS 的光路模式是非常接近的。使用过STEM的都有这方面的经验，就是样品比在TEM下污染的要快的多。这是因为单位面积上的束流密度要大得多，所以用EDS模式来的到污染斑是对的。
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