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主题：【求助】AFM求助：如何测量很深的坑？

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hisen007

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发表于：2010/10/05 03:50:39 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

使用的仪器是
NanoScope
Dimension 3100 Controller
tapping mode，scan size：10 um，scan rate 0.4 Hz
样品是SiC

测量很深的坑的时候，在扫描方向，坑的两侧得到的高度很高，肯定不是实际形貌，因为变换了扫描方向后还是只在扫描方向上坑的两侧出现突起。

这个现象在AFM中有没有什么名称？如果消除或者减小这种现象？
先谢谢各位了。

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2010/10/7 21:33:17 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

会不会是数据处理造成的，可以把leveling关掉试试。。

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liuzhiwen0411

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2010/10/8 15:44:09 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

应该是数据处理造成的,在进行flatten处理时,应该对坑进行屏蔽处理既可以.

原文由 hisen007(hisen007) 发表:
使用的仪器是
NanoScope
Dimension 3100 Controller
tapping mode，scan size：10 um，scan rate 0.4 Hz
样品是SiC

测量很深的坑的时候，在扫描方向，坑的两侧得到的高度很高，肯定不是实际形貌，因为变换了扫描方向后还是只在扫描方向上坑的两侧出现突起。

这个现象在AFM中有没有什么名称？如果消除或者减小这种现象？
先谢谢各位了。

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shangq

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2010/10/13 14:28:17 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

把图片进行一下Flatten

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hitttr

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2010/10/21 20:27:24 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我们在做AFM的时候，当扫描的图像中出现特别高的凸起时，
图像上凸起点的两侧会有明显的阴影，即凸起两侧显得特别低。
当测量到特别深的凹坑的时候，凹坑的两侧则会显得特别的高，其图像亮度特别亮。
这都是由于图像平整化造成的（Flatten）假象。
要消除这种影响，只需要对原始的扫描图像进行离线处理即可。
处理方向如下（以Nanoscope 6 版软件为例）：
1. 点击软件“Flatten”按钮，进入图像平整化处理界面
2. Flatten Order 一般选择2或者3即可。
3. 在图像上用鼠标拉框，将特别高或者特别低的地方圈起来，可以框选多个位置。
4. 点击"Exe cute"执行即可。

在步骤3中，Nanoscope 5版的软件，可框选的数目是有限的，如果图像上有很多高点或低坑的时候，可能无法完全框选，
并且逐个款选非常麻烦。这时候则需要用到另外一个功能，即“Flatten Z threshhold”
该选项的功能是在做平整化计算的时候，将特别高的凸起点或特别深的凹坑排除在外，这个就得到的结果就不会有假象了。
具体的使用方法请参看软件的说明书吧。

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