原文由 penguinle(penguinle) 发表:最近查了写资料说是原子序数小于11的好像就算超轻元素,一般的能谱探测范围在0.1-0.5 wt%,最新的估计在0.1-0.2 wt %,但是这个是整个Be4到U92的平均数据,引用原文来说是for most elements,我所用的电镜是JEOL JEM-2010,以前也没有接触过这一块,所以得向你们多请教。
F不属于超轻元素啊。一般EDS的resolution不仅要看你的仪器,也需要知道你样品大概厚度,你在STEM模式下,0.2左右MFP,0.2nm左右的probe,你可以得到2-5纳米左右的resolution