主题:【求助】隔垫吹扫流速上不去

浏览0 回复19 电梯直达
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雾非雾
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原文由 aluan0922(aluan0922) 发表:
嗯,谢谢,我去试试。主要是要擦拭什么地方呢?那有没可能是隔垫那漏气了呢?


我们用的是岛津,它在进样口内侧。
如果是隔垫漏气仪器会报警。再说把压盖拧紧一点一般就不漏了。
aluan0922
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原文由 雾非雾(mcds) 发表:
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嗯,谢谢,我去试试。主要是要擦拭什么地方呢?那有没可能是隔垫那漏气了呢?


我们用的是岛津,它在进样口内侧。
如果是隔垫漏气仪器会报警。再说把压盖拧紧一点一般就不漏了。

谢谢!
aluan0922
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还有一个问题啊,隔垫吹扫能量只在进样后那几分钟才有流量的吗?还是说一直开着的?
aluan0922
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我们换了个隔垫,隔垫吹扫的流速显示只有0.4,设定值是3.不知怎么回事啊,而且基线都是毛刺。希望各位给个建议啊
qqqid
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我们换了个隔垫,隔垫吹扫的流速显示只有0.4,设定值是3.不知怎么回事啊,而且基线都是毛刺。希望各位给个建议啊

出个馊主意,我没做过的。
关闭载气,取下隔垫,用洗耳球从隔垫吹扫出口吹入空气,也就是反吹,观察气路是否正常。注意:隔垫吹扫出口到进样口的气路中有过滤器,不是完全通畅的。
该帖子作者被版主 chengjingbao2积分, 2经验,加分理由:一解。
chengjingbao
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原文由 qqqid(qqqid) 发表:
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我们换了个隔垫,隔垫吹扫的流速显示只有0.4,设定值是3.不知怎么回事啊,而且基线都是毛刺。希望各位给个建议啊

出个馊主意,我没做过的。
关闭载气,取下隔垫,用洗耳球从隔垫吹扫出口吹入空气,也就是反吹,观察气路是否正常。注意:隔垫吹扫出口到进样口的气路中有过滤器,不是完全通畅的。


若是过滤器处堵呢?
沐浴晨光
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阿宝
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楼主找个 皂膜流量计,接到 purge 出口处测量一下实际的流量,如果确实1ml的话,堵的可能性比较大
家有田
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隔垫吹扫也是EPC控制的,单纯的反吹看不出来什么效果,要堵的话也是EPC那个地方堵了,楼主你可以拆开后盖检查下一下控制的那个EPC!
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