主题:【求助】ICP条件优化

浏览0 回复11 电梯直达
wangqian0m
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我想同时选择出最优的入射功率,载气流量,辅助气流量,蠕动泵速率,有资料上说让背景等效浓度最小比较好,如果我做一个关于背景等效浓度和功率或载气流量或辅助气流量的曲线,我怎么选择出最佳入射功率或载气流量的那个点呢?还有怎么综合四个因素选择呢,因为最佳的入射功率时不一定是最佳的载气流量!  麻烦大家讲一下
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shtlfxyq
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一般厂家会帮你设置的呀,而且没说清楚是要测什么样品呢。
wangqian0m
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就是针对某一样品,我改变一个条件,怎么判断优略?
是发射强度?还是BEC?或者信噪比?
该如何测量?
谢谢帮助
sunmei
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wangqian0m
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nbkeke
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6楼说的没错,用正交试验优化可以做到事半功倍。
pb1983521
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杀神一刀斩
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