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主题：【求助】帕纳科Axios真空度居高不下的原因

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2010/12/13 16:33:13 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悲剧出差了1个星期， 确实更换了你说的那个地方，不过我没发现有白色的密封圈啊，能不能具体说下那个密封圈有什么作用啊，而且我自己换的话没有密封脂会不会有影响，能不能用其它的东西代替呢， 你拍的照片右边那个地方也有个密封圈，工程师说有可能是那个的问题，那个和密封的关系大吗？
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2010/12/14 22:30:49 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiechangwei(xiechangwei) 发表:
悲剧出差了1个星期， 确实更换了你说的那个地方，不过我没发现有白色的密封圈啊，能不能具体说下那个密封圈有什么作用啊，而且我自己换的话没有密封脂会不会有影响，能不能用其它的东西代替呢， 你拍的照片右边那个地方也有个密封圈，工程师说有可能是那个的问题，那个和密封的关系大吗？

右边的那个密封圈好不好，和真空关系也是很大的，你更换一个试试吧，首先检查下你们密封圈上面有没有灰尘，脏了的话很容易漏气的
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2010/12/15 12:43:16 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Onway(juway) 发表:
原文由 xiechangwei(xiechangwei) 发表:
悲剧出差了1个星期， 确实更换了你说的那个地方，不过我没发现有白色的密封圈啊，能不能具体说下那个密封圈有什么作用啊，而且我自己换的话没有密封脂会不会有影响，能不能用其它的东西代替呢， 你拍的照片右边那个地方也有个密封圈，工程师说有可能是那个的问题，那个和密封的关系大吗？

右边的那个密封圈好不好，和真空关系也是很大的，你更换一个试试吧，首先检查下你们密封圈上面有没有灰尘，脏了的话很容易漏气的

    主要是现在没有密封圈来换，不过我看了下那个密封圈应该还好，没发现有较大磨损扁平的情况，应该不是这个问题，清理一次后也能降到6Pa，只是真空度上升很快而已。
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2010/12/15 13:51:33 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiechangwei(xiechangwei) 发表:
    主要是现在没有密封圈来换，不过我看了下那个密封圈应该还好，没发现有较大磨损扁平的情况，应该不是这个问题，清理一次后也能降到6Pa，只是真空度上升很快而已。

你说的真空上升很快使Cap盖打开上升的快还是Cap盖关闭时上升的快？或者是分析试样的时候上升快？
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2010/12/15 13:54:29 Last edit by juway
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2010/12/15 16:50:50 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你说的真空上升很快使Cap盖打开上升的快还是Cap盖关闭时上升的快？或者是分析试样的时候上升快？

是指过一个星期左右真空度就会从6Pa上升到50Pa左右，但即使上升到50Pa测样时最低仍然可以达到17pa，但打开清理时灰尘远没有以前多
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2010/12/18 19:29:20 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiechangwei(xiechangwei) 发表:
是指过一个星期左右真空度就会从6Pa上升到50Pa左右，但即使上升到50Pa测样时最低仍然可以达到17pa，但打开清理时灰尘远没有以前多

我认为还是处在自旋中心的那三个密封圈，就是我上图指出的那部分
分析原因所在：你分析试样时发热真空可以从50Pa可降到17pa，测样时自旋在转，转的时候真空下降了，静态时真空上去，说明这里的密封圈密封不好，还是需要更换这里的密封圈
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2010/12/18 19:29:56 Last edit by juway
lch33007
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2010/12/20 17:49:17 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是电池阀附近的问题，建议清理真空气路
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albert800922
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2010/12/21 11:35:05 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 lch33007(lch33007) 发表:
应该是电池阀附近的问题，建议清理真空气路


真空度不好一般有三种情况：
1、开盖好，关盖不好；
2、开盖不好，关盖好；
3、开盖不好，关盖不好。
第1、2两种情况密封圈有尘土，圈老化，清洁凹进圈等
第3种情况考虑P10气体流量问题：a：F真空-F空气≥0.4L/h，窗口膜漏气，更换窗口膜
                                                              b：无明显变化，漏气或者真空泵缺油或者油脏了
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2010/12/28 12:44:05 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Onway(juway) 发表:
原文由 xiechangwei(xiechangwei) 发表:
是指过一个星期左右真空度就会从6Pa上升到50Pa左右，但即使上升到50Pa测样时最低仍然可以达到17pa，但打开清理时灰尘远没有以前多

我认为还是处在自旋中心的那三个密封圈，就是我上图指出的那部分
分析原因所在：你分析试样时发热真空可以从50Pa可降到17pa，测样时自旋在转，转的时候真空下降了，静态时真空上去，说明这里的密封圈密封不好，还是需要更换这里的密封圈


  这个问题已经解决了,是因为放样品的下面的膨胀环不够紧,把Plunger那个升降杆高度调高点,把膨胀环顶上去就搞定了。开盖时真空度不好是因为真空室和转盘腔体是连通的，膨胀环这边漏气所以真空度不好，测样时样盖盖下来取代了膨胀环的密封作用，所以真空度能降下来。谢谢大家的热心意见！
该帖子作者被版主 juway加 2积分， 2经验，加分理由：感谢分享，不错
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albert800922
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2010/12/28 22:59:21 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题解决就是好，楼主如果能把解决问题的图片上传一下就更好。
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