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主题：离子减薄的郁闷事

浏览0 回复6 电梯直达
yesky
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发表于：2005/12/26 20:57:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天做离子减薄，以前2个小时能穿孔的样，今天用了4个半小时也没有搞定
，试样的边上已经别减的快没了，整个园片变成了骨头状
我怀疑枪偏了，操作老师用了一个园片检查了一下，说不偏
搞得我挺郁闷
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2005/12/27 12:56:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yesky 发表:
今天做离子减薄，以前2个小时能穿孔的样，今天用了4个半小时也没有搞定
，试样的边上已经别减的快没了，整个园片变成了骨头状
我怀疑枪偏了，操作老师用了一个园片检查了一下，说不偏
搞得我挺郁闷
请高手指教

不是光偏，就是样品放偏了吧？
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aquatic
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2006/1/10 13:29:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
几种可能性供参考：
1、离子束不居中（平面上）
2、离子束聚焦高度与样品不在同一水平面
（以上两点可以用你老师所说的园片来调整）
3、样品制备有问题（例如磨片时样品表面的划伤可能也会导致你的样品减薄成类似骨头状）
4、减薄速度变慢是不是离子气流调小了？或者减薄电压调小了？可以适当增大试试看。
5、减薄速度变慢还可能是减薄仪真空不好或者是电子枪脏了，这个可以定期清理一下。
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chmliubh
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2006/1/10 22:12:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yesky 发表:
今天做离子减薄，以前2个小时能穿孔的样，今天用了4个半小时也没有搞定
，试样的边上已经别减的快没了，整个园片变成了骨头状
我怀疑枪偏了，操作老师用了一个园片检查了一下，说不偏
搞得我挺郁闷
请高手指教


除了前面兄弟提到的，还有可能是，在上离子磨前样品厚度没有足够小。
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tom_dai
tom_dai
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2006/2/20 22:53:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
会不会是样品不干净,呵呵
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seeyou_78
seeyou_78
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2006/2/23 23:07:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
觉得一是太厚，二是粘歪了。
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Ehrenfest
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2006/4/20 15:41:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做的是平面样品吗？有时候样品成分不均匀也会出现你说的起吧！
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