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主题：请问有没有半导体制造行业的显微镜高手？

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echoes1130
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发表于：2006/01/05 20:56:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想问一下显微镜在晶圆厂里的作用，用于哪些工艺流程等，更重要的是能够请教讨论。
如有这样的高人，请回贴，拜求。。。。
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2006/1/6 10:22:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
据我的了解，晶园工厂主要用的是体视显微镜以及大平台的检测显微镜（常为金相显微镜），主要用于检测器件的缺陷，如长度、角度、清洁度、表面缺陷以及焊接点点等等，njrgb@126.com
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sunrolee
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2006/1/6 19:29:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
晶元生产是半导体前工序的！体式显微镜用的较少！一般用金像！
金像显微镜主要用来看光刻线路缺陷，有无短路，断路，污染等！一般都要配置电动鼻轮、waferload等，选什么规格的显微镜主要取决于晶元的尺寸，线宽，好象现在有90nm的出来了，可能普通光学显微镜满足不了检查要求了，只能像扫描电镜发展，我也想请教一些这方面的高手了解一些知识，希望这里能来一些这方面的高手来讨论！顺便交一些这方面的朋友！
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2006/1/6 19:38:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问啊峰兄是做什么工作的，对显微镜真的是很了解，而且电镜都很牛啊！
有些不懂的东西以后要多多向您请教！特别一些分析图片一看就知道呵呵！厉害！
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micro-scope
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2006/4/27 2:34:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个请olympus的兄弟来回答会比较专业..

他们在半导体里面买的最多..相信对这个行业有很深的理解..
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ywn
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2006/4/27 7:57:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
希望多发表此累技术文章,现在半导体行业发展非常快,一些大公司在生产集成电路芯片的过程中对气体介质纯度要求非常高,有的制造工艺因为整体自动线需要高度协调运行与生产,在生产自动化生产过程中也不允许晃电,停电部分地方还要采用MUPS(电动机不间断电源系统),确保自动化线连续不间断运行与产品质量一致.半导体行业测试要求也非常高,用于集成电路测试系统,安捷伦科技公司产品属于世界顶级.供参考
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newaero
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2006/6/24 20:21:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般来说光学显微镜对wafer检测大致可以达到6" 0.35的水准。再往上的话8"晶圆的线宽都在0.18到0.13。已经超出普通光学显微镜物镜的分辨能力。需要用UV物镜进行检测。但是工作距离也是一个比较关键的问题。长工作距离会降低分辨率。普通工作距离如果不小心的话会碰伤wafer表面。最后就是一个合适的载物台和防静电设计
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leicafans
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2006/6/27 22:54:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用在review工序, 即人工检查其它检测仪器发现的失效状况, leica有相关INS3000,INM100工业共聚焦产品及Deep UV系统可检查0.09um线经
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2006/7/2 14:23:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 micro-scope 发表:
这个请olympus的兄弟来回答会比较专业..

他们在半导体里面买的最多..相信对这个行业有很深的理解..




根据我的了解，半导体行业NIKON占有率是最高的，不是olympus

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2006/7/4 19:56:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
早期电子厂当然是日本人产品, 因为与他们合资, 想当初华虹与NEC合资, 日本人在宾馆笑了三天, 回家升职, 现在都是日本人在管理, 全厂官方语言是日本语.生产产品廉价反回日本. 大量产品由日本提供, 不是日本的也由日本几大贸易公司负责采购. 中间转手后获一倍利润.
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balake
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2006/7/16 20:19:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Echoes1130 发表:
想问一下显微镜在晶圆厂里的作用，用于哪些工艺流程等，更重要的是能够请教讨论。
如有这样的高人，请回贴，拜求。。。。


据我所知：深圳、东莞、上海很多大型晶圆厂都是采用徕卡显微镜，如果希望获得专业信息，请电话咨询徕卡工程师，黄生0755－83841245
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