主题：【讨论】CARL ZEISS EVO的灯丝crossover像是如何形成的?

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
束斑像是像素化的一个比较大的清晰图像，想想如何把一个电子束的截面像素化？只能是用目前TEM的数字成像技术，但扫描电镜束斑截面可以是亚毫米级，也可以是微米级别，甚至亚微米级别，所以我觉得镜筒中两个固定光阑下面某个部位，有个隐蔽的小机关，当软件切换到SOPT image，这个探测器弹出来，正好截住了电子束，并且成像。

法拉第筒，用于测电子束电流的，固定电子束来轰击样品，只能形成图像的一个像素，无论这个电子束直径多大，用扫描电镜图像探测器成像，只是一个像素而已，很大的图像，也只能是一个很大的马赛克。

老外技术都是掖着藏着的，可能连他们的安装工程师都不知道！

原文由 iangie(iangie) 发表:

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
束斑像是像素化的一个比较大的清晰图像，想想如何把一个电子束的截面像素化？只能是用目前TEM的数字成像技术，但扫描电镜束斑截面可以是亚毫米级，也可以是微米级别，甚至亚微米级别，所以我觉得镜筒中两个固定光阑下面某个部位，有个隐蔽的小机关，当软件切换到SOPT image，这个探测器弹出来，正好截住了电子束，并且成像。

法拉第筒，用于测电子束电流的，固定电子束来轰击样品，只能形成图像的一个像素，无论这个电子束直径多大，用扫描电镜图像探测器成像，只是一个像素而已，很大的图像，也只能是一个很大的马赛克。

老外技术都是掖着藏着的，可能连他们的安装工程师都不知道！

你说的前面部分好懂,
我提faraday cup的意思是当电子束照到平面样品上时点Gun-emission可以看到灯丝束斑像, 当电子束照到faraday cup里面时点Gun-emission时看不到灯丝束斑像, 只能看到黑漆漆的一片...这个现象是你前面部分的猜想所无法解释的....

原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
越说越深入了，我都听不懂了

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
切换到你所谓的Gun-emission 看灯丝像，电子束压根就没有和样品发生任何关系，

忘了说 ，切换到法拉第同模式，也是把电子束全给截留了，探测器接收不到任何信号因此黑屏

原文由 iangie(iangie) 发表:
我说的faraday cup不是任何机关, 就是一个钻了孔的铝样品, 用来接外部电流表测beam current的. 放在样品台上的.

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
切换到你所谓的Gun-emission 看灯丝像，电子束压根就没有和样品发生任何关系，

对, 既然没有任何关系, 为什么灯丝束斑像还与样品是不是faraday cup有关?

忘了说 ，切换到法拉第同模式，也是把电子束全给截留了，探测器接收不到任何信号因此黑屏

我说的黑屏不是SE 探测器信号黑屏, 而是本来有的束斑像也黑屏.

原文由 驰奔(srd2009) 发表:

原文由 iangie(iangie) 发表:
我说的faraday cup不是任何机关, 就是一个钻了孔的铝样品, 用来接外部电流表测beam current的. 放在样品台上的.

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
切换到你所谓的Gun-emission 看灯丝像，电子束压根就没有和样品发生任何关系，

对, 既然没有任何关系, 为什么灯丝束斑像还与样品是不是faraday cup有关?

忘了说 ，切换到法拉第同模式，也是把电子束全给截留了，探测器接收不到任何信号因此黑屏

我说的黑屏不是SE 探测器信号黑屏, 而是本来有的束斑像也黑屏.

要这样的话，我前面的猜想只是我个人的想法，就不是你用的电镜情况。你的电镜，束斑像探测器（这玩意我只是猜想，类似CCD，还望专家确认），在样品正上方，接收背散射电子，间接的反映spot image；法拉第杯子无法产生背散射电子，因此也就没有束斑像。这样理解似乎接近真实逻辑。
你可以实验一下，把样品台倾斜45度，然后再观察束斑像，估计也很难看到。

原文由 iangie(iangie) 发表:

原文由 驰奔(srd2009) 发表:

原文由 iangie(iangie) 发表:
我说的faraday cup不是任何机关, 就是一个钻了孔的铝样品, 用来接外部电流表测beam current的. 放在样品台上的.

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
切换到你所谓的Gun-emission 看灯丝像，电子束压根就没有和样品发生任何关系，

对, 既然没有任何关系, 为什么灯丝束斑像还与样品是不是faraday cup有关?

忘了说 ，切换到法拉第同模式，也是把电子束全给截留了，探测器接收不到任何信号因此黑屏

我说的黑屏不是SE 探测器信号黑屏, 而是本来有的束斑像也黑屏.

要这样的话，我前面的猜想只是我个人的想法，就不是你用的电镜情况。你的电镜，束斑像探测器（这玩意我只是猜想，类似CCD，还望专家确认），在样品正上方，接收背散射电子，间接的反映spot image；法拉第杯子无法产生背散射电子，因此也就没有束斑像。这样理解似乎接近真实逻辑。
你可以实验一下，把样品台倾斜45度，然后再观察束斑像，估计也很难看到。

我之前也是这么想的, 但是通过背散射电子能产生灯丝像这手段也太高明了...要真是这样zeiss真是牛逼..

这个45度得实验改天去试试~~

谢谢~~

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
通过背散射电子间接观察灯丝像，非常简单

原文由 iangie(iangie) 发表:

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
通过背散射电子间接观察灯丝像，非常简单

这是什么原理呢? 大师请指点, 学生真是不明白.