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三者区别于样品测试精度,价格、都是X-射线激发样品。
在做仪器分析时,对含量进行定量的时候,往往用测试精确度来表示,X射线荧光光谱仪用精度表示是合适的,因为XRF就是对样品中元素进行定量的。
而XRD,最基本的功能是物相分析,并且仍然以鉴别物相为主,定量这几年发展起来,但定量的准确度不同的使用者有不同的说法,并且XRD近些年来已经不单单是物相分析,拓展的有小角X射线散射,薄膜分析,织构以及残余应力等等,也就无所谓精度不精度了。
XPS主要是做材料表面元素的价态分析,似乎定量并不是主要的。
并不是每台仪器的主要功能都是在元素定量上的。
X射线光电子能谱分析法的应用
(1) 元素定性分析:各元素的电子结合能有固定值,一次扫描后,查对谱峰,确定所含元素(H、He除外);
(2) 元素定量分析:一定条件下,峰强度与含量成正比,精密度1-2%。
似乎XPS,做定性定量分析还是可以的。
这种精度只能称之为半定量分析,如果低含量还是1~2%的精度的话,那半定量都达不到了。