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主题：【求助】分子涡轮泵问题

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chemicpms
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2011/8/26 9:39:04 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
机械泵将初级真空抽到 1-2百帕斯卡(见下图)，分子泵在此真空基础上才能工作。
Vaccuum too high after the gate valve closed. 说明【八级杆-四级杆-检测器】这一腔体有漏气。联系安捷伦工程师吧！


已经联系了， 工程师说可能要换涡轮泵非常贵。 所以领导让我到专业论坛了解一些情况， 到时候也好应付一些。 我看过老师的帖子，（【八级杆-四级杆-检测器】这一腔体有漏气） 是要重新装一下那个橡胶圈吗？
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2011/8/26 10:03:22 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chemICPMS(chemICPMS) 发表:
【八级杆-四级杆-检测器】这一腔体有漏气——是要重新装一下那个橡胶圈吗？


我站内信件联系你了。
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nps
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2011/8/26 11:29:22 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议楼主检查潘宁规，有可能是潘宁规脏了，导致抽真空失败。
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2011/8/26 12:20:35 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 nps(nps) 发表:
建议楼主检查潘宁规，有可能是潘宁规脏了，导致抽真空失败。


Agilent 都是离子规。
附件：
更换离子硅.pdf
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chemicpms
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2011/8/26 12:52:34 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

  多谢各位了， 等工程师处理完后，我会及时反馈给大家。
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2011/8/26 17:51:18 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
原文由 nps(nps) 发表:
建议楼主检查潘宁规，有可能是潘宁规脏了，导致抽真空失败。


Agilent 都是离子规。


在7500系列上是潘宁规（Penning Gauge），是需要定期维护的，大概1~2年维护一次。见下图（红色的那个东东）


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以质谱优
shibingo
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2011/8/26 21:40:14 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们前段时间也是出现这个问题，真空减不下来，机械泵停止工作shutdown,原因是门阀gatevalve关闭不严，透镜后的门阀销子断裂造成弹簧拉不过去，关闭不严。应该是这个问题。
该帖子作者被版主 capinter加 5积分， 2经验，加分理由：感谢分享经验
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2011/8/27 15:22:25 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是门阀漏气的可能性大
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生于八零年代
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2011/8/27 23:09:13 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
继续关注中……
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how667733
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2011/8/28 16:58:24 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
估计是离子规坏了，我们用7700，一年多，坏了两个了
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