主题:【讨论】TOC的发展

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romance214
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半导体制造行业中TOC监测中设备的应用

超纯水作为一种溶剂被广泛应用于半导体装置的制造业中。特殊的水净化系统被应用到生产设备上以降低水中有机和无机化合物的浓度。当使用不同的处理系统时,很多工厂使用联合的过滤器去除被暂时搁置的固体;活性炭的吸附作用去除有机化合物;反渗透去吃有机和无机化合物;离子交换树脂去除离子群;真空排气去除溶解气体和挥发性的有机化合物;紫外线辐射装置给水杀菌同时氧化有机化合物;最后用离子交换树脂处理进行超过滤作用。

在处理系统和终端使用口的各个阶段里,仪表化应用于监控水的质量以确保处理系统的有效性。在半导体厂参数通常被监督,包括电阻系数,微粒,PH,矽土,金属,溶解氧,阳离子和阴离子浓度(通过离子色谱法),和有机化合物的浓度。

确定水中有机化合物水平的应用最广泛的技术就是测量总有机碳(TOC)。化学氧化试剂,紫外线辐射和高温综合运用,将有机化合物水样品氧化成CO2。CO2减少的量被NDIR吸收或测量导热率的技术来确定。

由于很多的水样品中含有可溶的CO2,碳酸氢根离子和碳酸根离子,这些无机碳种类必须从先前的样品中被除掉以确定TOC或者做为TOC分析的一个部分。

半导体厂的水净化系统可以减少有机化合物水平至1 ppb TOC甚至更低。有些水质量的相关指导建议在最终水产品中可接受的有机化合物水平低于2ppb,5ppb为警告线,10ppb就认为是危险水平了。
romance214
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关于电厂补水和冷凝水测TOC指标的,有接触过的吗?
yxllzh
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COD测定的准确度有一定的问题,尤其是CODMn,日本的饮用水标准早在几年前就将COD改为TOC了,放心吧,用不了几年,我们国家也会改为TOC的。
romance214
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饮用水的检测,今年倒是碰到一些。观念还是需要慢慢转变的。
借我一年
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原文由 romance214(romance214) 发表:
饮用水的检测,今年倒是碰到一些。观念还是需要慢慢转变的。


你们GE在制药领域还是有很多业务的,只不过在环境、石化领域业务少点。
heishan_gu
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romance214
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原文由 heishan_gu(heishan_gu) 发表:
我以前在电镀行业做过,电镀行业需要TOC的


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