主题:【求助】热电ICP6300

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zjcdut2011
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各位高手,热电icp6300使用中,点火过程中,等离子体点燃后突然熄灭,然后出现“E2202:等离子体点火失败,RF报告差的功率输出出错”的界面,请问出现上述情况是什么原因
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arvid2007
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楼主可以问问厂商工程师,有专业解答
可能是控制RF发生器的电路板出问题吧
longfeng0711
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我的也会突然熄火,再点就好了,问工程师也没解决,将就用
lilongfei14
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建议你把仪器从新启动一下,然后看看还有这种现象没
walterzhang
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热电的6300我用俩年,你这样的现象有三个步骤,首先保证良好的温湿度环境,其次关仪器重启,点火试试,对了你矩管要干燥,还是那样的话要让工程师在检测你RF功率器是否正常,这个RF功率器可不便宜,有可能就是这里的毛病,最好早点让维修
walterzhang
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千层峰
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以前用那台6300,一年半就要换 RF线圈了。。。换RF线圈试试吧,热电的也不见得质量就很好
qtfy2008
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