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主题：请教如何用AFM或TEM来准确测定2到10个纳米薄膜的厚度?

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发表于：2006/03/10 20:01:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，请问有这方面的高手吗？测得的结果误差有多大，影响误差的因素有哪些？
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清风侠
ssh110
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2006/3/14 8:54:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
AFM用来测量膜厚，目前还比较困难，如果是台阶样的样品还可以！
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hansyangts
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2006/4/16 18:24:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fob204 发表:
如题，请问有这方面的高手吗？测得的结果误差有多大，影响误差的因素有哪些？


制成台阶层状样品后测试，一般可得到理想结果。但要注意台阶的高度，要适应扫描管Z方向的测量范围。另外，一定要精确的对扫描管Z方向进行标定，这样才能尽可能的减小误差。
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清风侠
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2006/4/17 9:23:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hansyangts 发表:
原文由 fob204 发表:
如题，请问有这方面的高手吗？测得的结果误差有多大，影响误差的因素有哪些？


制成台阶层状样品后测试，一般可得到理想结果。但要注意台阶的高度，要适应扫描管Z方向的测量范围。另外，一定要精确的对扫描管Z方向进行标定，这样才能尽可能的减小误差。

如果为了测薄膜样品的高度，而可以制成台阶层状样品，就又可能影响了薄膜本身的一些性质，本人保留意见！
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可人
kerener_99
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2007/3/29 17:09:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我做的是溅射薄膜，特意做了有台阶的样品，而且也用AFM对样品进行了扫描，不知道具体要怎么分析样品的厚度，请指教。
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hitttr
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2007/4/7 21:20:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kerener_99 发表:
我做的是溅射薄膜，特意做了有台阶的样品，而且也用AFM对样品进行了扫描，不知道具体要怎么分析样品的厚度，请指教。


如果你已经根据测试的目的做成了台阶样品，那么如果你能使用AFM将这些台阶扫描下来基本上就ok了，如果你能确定一个台阶就是一层薄膜的厚度，那么在分析软件中，垂直于台阶作一个界面分析就可以得到台阶的高度，即这层薄膜的厚度了。个人浅见，如果错误请指正
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pzg16
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2007/4/10 13:39:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好，不错，学习中。
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zt_777
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2007/4/10 21:33:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hansyangts 发表:
原文由 fob204 发表:
如题，请问有这方面的高手吗？测得的结果误差有多大，影响误差的因素有哪些？


制成台阶层状样品后测试，一般可得到理想结果。但要注意台阶的高度，要适应扫描管Z方向的测量范围。另外，一定要精确的对扫描管Z方向进行标定，这样才能尽可能的减小误差。

一定要精确的对扫描管Z方向进行标定,怎样定标呀,请指教
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可人
kerener_99
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2007/4/13 14:10:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hitttr 发表:
原文由 kerener_99 发表:
我做的是溅射薄膜，特意做了有台阶的样品，而且也用AFM对样品进行了扫描，不知道具体要怎么分析样品的厚度，请指教。


如果你已经根据测试的目的做成了台阶样品，那么如果你能使用AFM将这些台阶扫描下来基本上就ok了，如果你能确定一个台阶就是一层薄膜的厚度，那么在分析软件中，垂直于台阶作一个界面分析就可以得到台阶的高度，即这层薄膜的厚度了。个人浅见，如果错误请指正

关键问题是我对AFM的分析软件并不熟悉，对他的很多的功能不是很了解，可以说不知道它分析出来时做什么用的。不知道你会不会用，有说明书之类的介绍吗？
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wxmtsinghua
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2007/4/21 3:52:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果样品透明或者半透明，建议用椭偏仪来测。
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lami
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2007/4/21 6:57:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一根扫描线，呈现阶梯状，两个阶梯间的距离就是薄膜厚度
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