原文由 huihui5973(huihui5973) 发表:原文由 maxin2009(maxin2009) 发表:原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以 初步 判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?
可以的,在这种状况下,机器真空系统停了,但是 电力系统供应还在,EOS还能用,探头系统还能用,SEI图像的亮度是靠调节前置放大器的放大补偿来调节的,EOS电路正常,信号采集正常,高压控制电路正常,上述调节和设置都能改变,话说这个已经实践过了。还有一点,用户说的应该是“开机几秒后RP停转“吧,,这种状况,这个时候”EVAC“"VENT"的LED灯会同时亮。
我们的设备是用钥匙开机2~3秒就跳闸,EVAC和VENT灯同时闪烁,比较好的情况就是,用钥匙开机十几秒跳闸。总体来说,持续时间不太一致,有的时候时间能维持的更长一些,据我们总结,持续时间越长,能够保持开机不跳闸的几率越大。
但是到夏天这种情况就不存在了,如果是电路故障的话,为什么到夏天就没问题了呢,真的是很奇怪!
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“真空的功能肯定是废了,但是可以调试亮度和对比度,看看加速电压,束斑直径能不能改变,如果都正常,那就可以 初步 判断 主控板 是否故障了,应该是简单的电路维修。”
你是说没有真空也可以开机吗?
停机分两种,一种是开机后瞬间掉闸,另一种是某系统发生故障,但其他系统没问题,例如真空系统漏气,机器死活抽不到READY状态了,真空系统可能会在几分钟后退回到抽扩散泵背压的状态,这時系统报错,设备停在这个状态了,这也是一种停机。
这个回答好理解,这与你前一个回答是矛盾的吧?他开机一会就跳了,真空还没抽上去,这时还能加高压我感觉这是不可能的。