主题：【已应助】求文獻幾篇

【序號】：1

【作者】：李光哲;

【篇名】：ITO靶材黑化的因素浅析

【期刊】：真空 ,  1999年 05期 

【全文連接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-ZKZK199905010.htm

【序號】：2

【作者】：姚吉升  唐三川  陈坚  王玺  周友元  黄军武 

【篇名】：ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究

【期刊】： 《中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集》 2002年

【全文連接】：http://cpfd.cnki.com.cn/Article/CPFDTOTAL-ZGZU200212001013.htm

【序號】：3

【作者】：张智强

【篇名】：ITO溅射靶材国内外研究状况

【期刊】： 《材料开发与应用》 2010年01期 加入收藏 获取最新

【全文連接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-CLKY201001020.htm

【序號】：4

【作者】：陈长琦  赵晶晶  汪洪波  王君 

【篇名】：辅助PECVD的磁场模拟计算与分析

【期刊】： 《真空》 2010年02期 加入收藏 获取最新

【全文連接】：http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTOTAL-ZKZK201002011.htm

【序號】：5

【作者】：Seth A. Veitzer, Peter H. Stoltz

【篇名】：Simulations of electron generation and dynamics in a hollow cathode with applied magnetic field

【期刊】： Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

【全文連接】：http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0168583X07010282