主题:【讨论】Fischione 1010离子减薄仪离子束打不出来

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wengfang2011
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问题如上,我们开始认为原因是离子腔被堵了,但是把离子腔拆了清洗一遍,装上之后还是没有离子束。请问大家还有其他什么原因吗?
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wengfang2011
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麻烦问下朋友,我初次接触离子减薄,问一下气瓶压力具体指什么?
蓝莓口香糖
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wengfang2011
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drizzlemiao:如果氩气用光了,减薄仪自然就不工作了。

现在是上腔打不出离子束,下腔可以,这样可以排除不是压力的问题吗?
蓝莓口香糖
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我们以前用的1010也时常有类似问题,但只是在电压比较低的时候才出现。跟厂家联系一下吧,考验他们的时候到了。
kaleidoscope
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可能是上枪高压短路了。(需要清洗)
也有可能是高压发生器坏了。
wengfang2011
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kaleidoscope:可能是上枪高压短路了。(需要清洗)也有可能是高压发生器坏了。
谢谢,我试一下。
jackyzhao
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