主题:【已应助】求JVSTB文献一篇

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六脉神剑
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[序号]: 1
【作者】:
A. Muray1, M. Scheinfein1, M. Isaacson1, and I. Adesida2 
【题名】:
Radiolysis and resolution limits of inorganic halide resists
【期刊】:J. Vac. Sci. Technol. B 


【年、卷、期、起止页码】:3, 367 (1985)
[全文链接]:http://avspublications.org/jvstb/resource/1/jvtbd9/v3/i1/p367_s1
推荐答案:灰米奇回复于2012/02/16
请转换悬赏~
补充答案:

learner1999回复于2012/02/16

我帮你上传一下,看能否下载

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今天第二次遇到下载的文件打不开的了,还是请灰米奇同学在传一遍吧!
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