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主题：【求助】#1218 Error: Plasma was shut off.(Plasma RF Monitor)

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freeleaf75
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发表于：2012/05/15 18:05:09 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的是安捷伦7500的仪器，今天开机时不能点火，出现#1218 Error: Plasma was shut off.(Plasma RF Monitor)。请问是哪里出了问题，怎么解决？谢谢
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2012/5/16 20:23:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是发生器挂了？
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leemoonling
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2012/5/16 22:14:45 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
RF线路板或者是电容的问题吧
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tingxi
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2012/5/17 12:49:57 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氩气纯度不够或者是进样系统漏气。
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leexiaoyao
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2012/5/17 15:41:58 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 freeleaf75(freeleaf75) 发表:
我用的是安捷伦7500的仪器，今天开机时不能点火，出现#1218 Error: Plasma was shut off.(Plasma RF Monitor)。请问是哪里出了问题，怎么解决？谢谢

等离子射频监测仪关闭了 可能射频电源有问题
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leemoonling
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2012/5/18 7:52:54 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
也可能是电源电压不稳定造成的吧？RF两端的电压时多少啊？
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小小千
wuting1002
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2012/5/18 10:43:34 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能是进样系统漏气了吧。
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手机版： #1218 Error: Plasma was shut off.(Plasma RF Monitor)
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