原文由 yestier 发表:
另请教几个合轴的问题:
(1)1-5合轴时发现有像散,在spot size 1(gun)调节CL像散,使光斑变圆后,切换到spot size 5(CLA),时,光斑在另一个方向又变成了椭圆。这是什么原因?在1-5合轴过程中不能调节像散吗?
(2)衍射模式下,调节brightness或diff. focus欠焦和过焦时,斑点在两个方向拉长,说明存在像散,消像散时该调节CL还是OBJ的像散?
原文由 yestier 发表:
谢谢!明天我试试。
再请教一个问题:brightness聚光到一定大小,直径约1厘米左右吧,有时光斑四周边缘亮度高,而中间反而暗,这正常吗?
对了,前一个问题是光斑中心出现亮点,好像没有散开似的,这跟电压中心有关??