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主题：【求助】有用 FTIR 测试半导体相关的吗?

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wpsun0521
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发表于：2012/07/10 16:39:37 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有哪位大虾用 FTIR 测试以下内容的吗?

§A. BPSG/PSG之含磷、含硼量预测 §B. 芯片之含氧、含碳量预测 §C. 磊晶之厚度量测
是怎么测试的呢？
该帖子作者被版主 tangtang加 2积分， 2经验，加分理由：欢迎wpsun0521。
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jieun330
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2012/7/10 17:52:16 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
您好！ 我们是兴和仪器上海有限公司。

这二个测定需要傅立叶红外光谱仪器附件。

我想了解发给你一个详细资料。

jechoi@scinco.com





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2012/7/11 14:24:33 Last edit by jieun330
tangtang
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2012/7/10 18:48:52 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
具体的检测方法能贴上来吗？
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wpsun0521
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2012/7/12 9:57:12 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有人测过吗？
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jieun330
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2012/7/12 17:40:57 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那天别人找这试验方法。 Wafer仪器可以测定含量EPI, BPSG, Oxygen， Carbon 。

这是傅立叶红外光谱仪器附件做在美国品牌。
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wanttofly
yaofei
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2012/7/12 19:03:06 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
置顶贴的苦主好像就是用在半导体行业的，要有特殊的东西，还是慎重点选择，千万别买了成摆设。
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