主题：【求助】5973用高效涡轮分子泵时其高真空度正常值是多少？

原文由 312096381(312096381) 发表:

原文由 dbzxh(dbzxh) 发表:
虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。

真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。

问一下老师，我们这边用的安捷伦7890-5975，没有安装真空规，平时开机的时候怎么判断有没有漏气等状况，是不是只能等着看调谐报告了？谢谢老师！！

原文由 雾非雾(mcds) 发表:

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虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。

真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。

问一下老师，我们这边用的安捷伦7890-5975，没有安装真空规，平时开机的时候怎么判断有没有漏气等状况，是不是只能等着看调谐报告了？谢谢老师！！

安捷伦气质居然不把真空规作为标配件真的是很让人郁闷的。

原文由 剑(kreanu) 发表:
我们好像也是02年前后买的5973，现在真空规坏了，不过坏之前一直在3x10-6左右，如果我没记错的话。。你1x10-5应该不影响性能

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:

原文由 剑(kreanu) 发表:
我们好像也是02年前后买的5973，现在真空规坏了，不过坏之前一直在3x10-6左右，如果我没记错的话。。你1x10-5应该不影响性能

请问5973（真空3x10-6左右）是用分子泵还是扩散泵？

原文由 剑(kreanu) 发表:

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我们好像也是02年前后买的5973，现在真空规坏了，不过坏之前一直在3x10-6左右，如果我没记错的话。。你1x10-5应该不影响性能

请问5973（真空3x10-6左右）是用分子泵还是扩散泵？

我就知道是turbo pump，不知道是分子泵还是扩散泵。。

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虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。

真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。

问一下老师，我们这边用的安捷伦7890-5975，没有安装真空规，平时开机的时候怎么判断有没有漏气等状况，是不是只能等着看调谐报告了？谢谢老师！！

安捷伦气质居然不把真空规作为标配件真的是很让人郁闷的。

确实让人郁闷，如果客户不清楚的话，就可能漏定带来不方便。

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虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。

真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。

问一下老师，我们这边用的安捷伦7890-5975，没有安装真空规，平时开机的时候怎么判断有没有漏气等状况，是不是只能等着看调谐报告了？谢谢老师！！

安捷伦气质居然不把真空规作为标配件真的是很让人郁闷的。

确实让人郁闷，如果客户不清楚的话，就可能漏定带来不方便。

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虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。

真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。

问一下老师，我们这边用的安捷伦7890-5975，没有安装真空规，平时开机的时候怎么判断有没有漏气等状况，是不是只能等着看调谐报告了？谢谢老师！！

安捷伦气质居然不把真空规作为标配件真的是很让人郁闷的。