主题:我公司是真空磁控溅射氧化铟锡的生产厂家,大概原理是在真空状态下,在溅射靶材铟锡合金上施加负电压,充入溅射气体氩和反应气体氧,铟锡金

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jyapu
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我公司是真空磁控溅射氧化铟锡的生产厂家,大概原理是在真空状态下,在溅射靶材铟锡合金上施加负电压,充入溅射气体氩和反应气体氧,铟锡金属原子被溅射出后与氧发生反应成氧化铟锡,在我们实际应用中需要监控铟锡金属原子被溅射出后与氧发生反应时的光谱,以便更好的控制氧气输入的流量。请问有没有相宜的检测和监控设备?jyapu@sohu.com
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