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近日发现真空度下降(3e-5)到(1e-4),调谐正常,稍拧了一下隔垫螺母,发现真空急剧振荡,最后稳定在2e-5, 估计是隔垫漏气了
您所说的真空度在哪里看?我不会看~
可以从MS的monitor,选择加真空显示,即可在面板上看
您所说的真空度是在MS的面板上而不是在调谐报告中?
都有。调谐报告看HiVac