原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:离子减薄仪,主要是做离子减薄的,TEM制样设备的一种。有两个离子枪,也可以只用1个离子枪,做溅射仪镀膜原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
受教了,谢谢。
Au-Pd直接就能喷出0.3 nm的均匀材料,倒是可以做点小文章。
按大师们的说法,直流溅射仪和磁控溅射仪不行,得用离子束溅射仪。
Au-Pd合金,期待看看有没有人用过。如果有离子减薄仪的话,加上靶材就可以实现了。
溅射仪?