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主题：PE 3300 型号的,我点着火以后在做标准曲线的时候,听到吱吱的声响后.等离子熄灭

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cd534627
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发表于：2006/06/15 19:55:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的ICP是PE 3300 型号的,我点着火以后在做标准曲线的时候,听到吱吱的声响后.等离子熄灭,以前一直不会这样,哪位遇到这个情况,是什么原因.请大家多多帮忙.还有一大批样品在等着做.急啊
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2006/6/15 20:17:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是用了很久没洗管子了?估计是管内的盐份掉到冷却气或辅助气或样品通道里了,赶快换管子,不要再随便点火!
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cd534627
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2006/6/15 20:30:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是这样应该连火也点不着了啊
我想是不是ＲＦ的功率影响的点着火的功率是１３００Ｗ
我做标准曲线的功率如下：
Ｃd:1140
pd:  1130
Cu:  1150
但是我做了一个Cr：1145  就能做标准曲线能做样品。
我以前一直用上面的功率做的的没有问题的，这两天就有问题。实在想不出是那里的问题
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cd534627
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2006/6/15 20:37:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
信息提示如下：
Bad plasma discharge due to ring discharge
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2006/6/20 11:13:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 cd534627 发表:
我的ICP是PE 3300 型号的,我点着火以后在做标准曲线的时候,听到吱吱的声响后.等离子熄灭,以前一直不会这样,哪位遇到这个情况,是什么原因.请大家多多帮忙.还有一大批样品在等着做.急啊


空氣跑進去啦？
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cd534627
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2006/6/21 10:54:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
但是用1300W的功率就可以做啊 ，如果是空气进去了应该不管那个功率都做不成了吧！我想是不是功率管坏了啊
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aiyishen
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2007/4/23 21:26:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看过
学习一下
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九重天
llanyin
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2007/4/24 15:38:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是漏气
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zhlf333
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2007/4/25 10:07:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
漏气了。。。。。。
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手机版： PE 3300 型号的,我点着火以后在做标准曲线的时候,听到吱吱的声响后.等离子熄灭
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