主题：【讨论】RF发生器震荡类型自激式与它激式主要有哪些区别？

原文由 tang566(tang566) 发表:
RF发生器震荡类型自激式与它激式的原理还是较深奥的。

原文由 jbs314(jbs314) 发表:
所谓它激式的，就是有晶体振荡器产生固定的频率，即工作频率是由晶振决定，非RF自身决定的，RF工作时，其频率是保持不变的，当功率变化或进样不同时，必须调整射频负载匹配箱内的可变电容，其优点是频率不变，缺点是响应慢，调节是靠机械动作，可靠性低，成本高，体积大，耗电高，国外先进厂家基本淘汰此类型RF发生器；
    自激式RF，功频率是随工作条件，会在一定的范围内，通过反馈到可变振荡器，通过变化频率，适合不同的负载或进样。其优点是响应快，寿命长，无机械调谐，工作稳定可靠，成本低，体积小，效率高。其缺点是：技术难度高，国内仅个别厂家掌握此类核心技术，目前国外先进厂家均采用此类技术。

原文由 jbs314(jbs314) 发表:
所谓它激式的，就是有晶体振荡器产生固定的频率，即工作频率是由晶振决定，非RF自身决定的，RF工作时，其频率是保持不变的，当功率变化或进样不同时，必须调整射频负载匹配箱内的可变电容，其优点是频率不变，缺点是响应慢，调节是靠机械动作，可靠性低，成本高，体积大，耗电高，国外先进厂家基本淘汰此类型RF发生器；
    自激式RF，功频率是随工作条件，会在一定的范围内，通过反馈到可变振荡器，通过变化频率，适合不同的负载或进样。其优点是响应快，寿命长，无机械调谐，工作稳定可靠，成本低，体积小，效率高。其缺点是：技术难度高，国内仅个别厂家掌握此类核心技术，目前国外先进厂家均采用此类技术。

原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:

原文由 jbs314(jbs314) 发表:
所谓它激式的，就是有晶体振荡器产生固定的频率，即工作频率是由晶振决定，非RF自身决定的，RF工作时，其频率是保持不变的，当功率变化或进样不同时，必须调整射频负载匹配箱内的可变电容，其优点是频率不变，缺点是响应慢，调节是靠机械动作，可靠性低，成本高，体积大，耗电高，国外先进厂家基本淘汰此类型RF发生器；
    自激式RF，功频率是随工作条件，会在一定的范围内，通过反馈到可变振荡器，通过变化频率，适合不同的负载或进样。其优点是响应快，寿命长，无机械调谐，工作稳定可靠，成本低，体积小，效率高。其缺点是：技术难度高，国内仅个别厂家掌握此类核心技术，目前国外先进厂家均采用此类技术。

热电的ICP好像都是晶体他激式的